一、工作原理

 

　　1、熱式測量原理

 

　　小流量氣體質(zhì)量流量控制器通常基于熱傳導(dǎo)原理工作。它通過加熱元件對流經(jīng)傳感器的氣體進(jìn)行加熱，并測量氣體流動帶走的熱量變化來確定流量。當(dāng)氣體流過傳感器時(shí)，帶走的熱量與氣體的質(zhì)量流量成正比。內(nèi)置的溫度傳感器檢測到這種變化，并將其轉(zhuǎn)換為電信號，經(jīng)過放大和處理后輸出相應(yīng)的流量值。

 

　　2、閉環(huán)控制機(jī)制

 

　　高精度的產(chǎn)品采用閉環(huán)控制系統(tǒng)，確保流量穩(wěn)定且準(zhǔn)確。系統(tǒng)根據(jù)設(shè)定值與實(shí)際測量值之間的差異，自動調(diào)整閥門開度，使流量始終保持在目標(biāo)范圍內(nèi)。這種實(shí)時(shí)反饋機(jī)制使得即使在外界條件發(fā)生變化時(shí)，也能維持穩(wěn)定的流量輸出。

 

　　二、典型應(yīng)用場景

 

　　1、半導(dǎo)體制造

 

　　在半導(dǎo)體工藝中，氣體流量的精確控制對于薄膜沉積、蝕刻等工序至關(guān)重要。例如，在化學(xué)氣相沉積（CVD）過程中，需要嚴(yán)格控制反應(yīng)氣體的流量，以保證薄膜厚度均勻一致。它可以確保氣體供應(yīng)穩(wěn)定可靠，滿足嚴(yán)格的工藝要求。

 

　　2、實(shí)驗(yàn)室分析儀器

 

　　氣相色譜儀（GC）、質(zhì)譜儀（MS）等分析儀器常配備該產(chǎn)品，用于載氣或輔助氣體的精確供給。這有助于提高檢測靈敏度和準(zhǔn)確性，特別是在痕量物質(zhì)分析中表現(xiàn)尤為突出。

 

　　3、醫(yī)療設(shè)備

 

　　呼吸機(jī)、麻醉機(jī)等醫(yī)療設(shè)備依賴于小流量氣體質(zhì)量流量控制器來精確輸送氧氣或其他治療氣體，確保患者安全有效接受治療。其高精度和穩(wěn)定性對于保障生命支持系統(tǒng)的正常運(yùn)行至關(guān)重要。